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質(zhì)量流量控制器DP-D07-7B

更新時間:2014-10-22點(diǎn)擊次數(shù):1571
質(zhì)量流量控制器         型號;DP-D07-7B
 
DP-D07-7B型 質(zhì)量流量控制器
儀器簡介:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量行地測量和控制。廣泛用于電子藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
參數(shù):
滿量程流量范圍(N2)
5SCCM~10SLM
控制范圍
2~100%F.S.
閥類型(及閥初始狀態(tài))
電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)
準(zhǔn)確度
±1.5%F.S.
線性
±0.5~1.5%F.S.
重復(fù)度
±0.2%F.S.
響應(yīng)時間
≤7sec
作溫度范圍
5~45℃
作壓差
0.1~0.5MPa
耐壓
3MPa
漏氣率
1×10-8atm.cc/sec He
密封材料
氟橡膠(或氯丁橡膠)
電插頭形式
DB15 pin(Female)
接頭選擇
VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4"或φ6、φ3
重量
1.1Kg
 


 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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